تطور الأتمتة في تصنيع أشباه الموصلات الذكي

مع اقتراب تصنيع أشباه الموصلات نحو 2 نانومتر أو أقل، زاد الطلب على الدقة والكفاءة والتكيف البيئي بشكل كبير. تواجه أنظمة الأتمتة التقليدية صعوبة في التعويض الديناميكي، والتنسيق بين الأجهزة المتعددة، وتوافق الغرف النظيفة—مما يخلق حاجة متزايدة لحلول ذكية من الجيل القادم.

اختراقات تكنولوجية

1. تعويض ديناميكي عالي الدقة

   من خلال الدمج متعدد المستشعرات وخوارزميات التحكم في الوقت الحقيقي، تحقق الجيل الجديد من أنظمة الأتمتة دقة تحديد المواقع أقل من الميكرون (±0.05 مم)، تلبي متطلبات التعامل الصارمة مع الرقاقة للعمليات المتقدمة.

2. تصميم النظام المتكامل

   التكامل العميق للأذرع الروبوتية، وأجهزة AMR، والأنظمة البصرية يبسط النشر ويقلل من وقت التصحيح بنسبة 90٪، مما يعالج تعقيد التنسيق عبر علامات تجارية متعددة.

3. تحسين الغرف النظيفة

   معتمد وفقا لمعايير الغرف النظيفة من الفئة الأولى، يتميز الجهاز بانبعاثات منخفضة الجسيمات وتوافق كهرومغناطيسي ممتاز (EMC)، مما يضمن بيئة إنتاج مستقرة وآمنة.

إنجازات المشروع

• تحسن أكثر من 20٪ في فعالية المعدات العامة (OEE)
• معدل تكسر الرقائق انخفض إلى أقل من 0.001 جزء في المليون
• تم تقليص دورة توسع خط الإنتاج من أسابيع إلى أيام